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全世界半导体制造商都依赖的设备就是曝光机,荷商ASML是行业巨擘,EUV曝光机更是先进制程必备神器。美媒指出,每台要价1.7 亿美元至3.7 亿美元的EUV最大天敌,台积电最担心的是地震,英特尔则曾发现厂区附近农场的乳牛每天大量放屁,产生的甲烷因凌晨风向改变,通过空气净化器进入无尘室,影响曝光机运作效率,最终谨记教训,不要将晶圆厂盖在牛屁多的地方。
《华尔街日报》专栏作家柯恩(Ben Cohen)跟著ASML工程师霍尔 (Brienna Hall),一窥ASML设备精密之处及维修工程师的工作过程。
柯恩提及,霍尔是ASML派驻在美光的机械工程师,负责维护的EUV曝光机售价 1.7 亿美元。至于ASML最新一代的EUV(High-NA EUV)售价更高达 3.7 亿美元。这些价值高昂的设备最引人注目的地方在于它们都是ASML制造。
柯恩还指出,这些极其复杂的设备花了几十年的时间,才从实验室搬到工厂。直到最近,人们还不清楚ASML对 EUV 技术的大胆押注是否会得到回报。因为2012年ASML因现金短缺,将23%的股权出售给台积电、英特尔、三星电子,这意味著其最大的客户实际上为该公司的成功进行投资。
ASML在2010 年交付第一台 EUV 设备,去年更是忙碌的一年,ASML 总共出货 42 台 EUV。目前仍然只有6家公司拥有这些用于芯片制造的设备,许多其他公司则间接依赖 ASML。
苹果和辉达都设计自己的芯片,并委由台积电代工,这意味著 ASML 的技术对于制造从人工智慧资料中心到 iPhone 的一切产品,都至关重要。EUV 机器变得如此重要,以至于该公司现在雇用1万工程师支援客户,以确保这些设备正常运作。ASML首席客户长库曼(Jim Koonmen)强调,他们是ASML的前线部队。
诚如荷兰记者 Marc Hijink 曾在其著作《Focus: The ASML Way》所描述,ASML 的客户希望他们的光刻工具能够日夜运行,但中断是不可避免且不可预测的,书中提及台积电担心地震,而英特尔曾经将曝光机问题追溯到风向的变化,原因是从附近的乳牛场吹来甲烷气体-牛放屁。
根据先前披露的信息,英特尔的员工曾发现,每当凌晨1至2点之间,曝光机的吞吐量都会突然下降。经过长时间排查,英特尔终于找到凶手,就是可爱的邻居-几百头乳牛。附近农场的乳牛每天大量放屁,产生的甲烷因凌晨1-2点的风向改变,通过空气净化器进入无尘室,影响曝光机的效率,英特尔因而谨记教训,不要将晶圆厂盖在牛屁多的地方。
柯恩强调,除了牛放屁之外,曝光机故障很少见,但EUV是每个晶圆厂的瓶颈,如果整个工厂发生故障,都会有备份,这就是 ASML 在世界各地全天候雇用员工的原因。
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