ASML曝光机有天敌

　　全世界半导体制造商都依赖的设备就是曝光机，荷商ASML是行业巨擘，EUV曝光机更是先进制程必备神器。美媒指出，每台要价1.7 亿美元至3.7 亿美元的EUV最大天敌，台积电最担心的是地震，英特尔则曾发现厂区附近农场的乳牛每天大量放屁，产生的甲烷因凌晨风向改变，通过空气净化器进入无尘室，影响曝光机运作效率，最终谨记教训，不要将晶圆厂盖在牛屁多的地方。

　　《华尔街日报》专栏作家柯恩（Ben Cohen）跟著ASML工程师霍尔 （Brienna Hall），一窥ASML设备精密之处及维修工程师的工作过程。

　　柯恩提及，霍尔是ASML派驻在美光的机械工程师，负责维护的EUV曝光机售价 1.7 亿美元。至于ASML最新一代的EUV（High-NA EUV）售价更高达 3.7 亿美元。这些价值高昂的设备最引人注目的地方在于它们都是ASML制造。

　　柯恩说，EUV曝光机堪称是一项奇迹，其中两件事令人无法忘怀，一是ASML 与一家德国光学公司（指蔡司）合作开发的镜片，若把镜片放到像整个德国这么大，整个镜面量测出的误差，也不会超过1毫米；二是EUV 的精度相当于从您的房屋引导雷射光束并在月球上打乒乓球。

　　柯恩还指出，这些极其复杂的设备花了几十年的时间，才从实验室搬到工厂。直到最近，人们还不清楚ASML对 EUV 技术的大胆押注是否会得到回报。因为2012年ASML因现金短缺，将23%的股权出售给台积电、英特尔、三星电子，这意味著其最大的客户实际上为该公司的成功进行投资。

　　ASML在2010 年交付第一台 EUV 设备，去年更是忙碌的一年，ASML 总共出货 42 台 EUV。目前仍然只有6家公司拥有这些用于芯片制造的设备，许多其他公司则间接依赖 ASML。

　　苹果和辉达都设计自己的芯片，并委由台积电代工，这意味著 ASML 的技术对于制造从人工智慧资料中心到 iPhone 的一切产品，都至关重要。EUV 机器变得如此重要，以至于该公司现在雇用1万工程师支援客户，以确保这些设备正常运作。ASML首席客户长库曼（Jim Koonmen）强调，他们是ASML的前线部队。

　　诚如荷兰记者 Marc Hijink 曾在其著作《Focus: The ASML Way》所描述，ASML 的客户希望他们的光刻工具能够日夜运行，但中断是不可避免且不可预测的，书中提及台积电担心地震，而英特尔曾经将曝光机问题追溯到风向的变化，原因是从附近的乳牛场吹来甲烷气体-牛放屁。

　　根据先前披露的信息，英特尔的员工曾发现，每当凌晨1至2点之间，曝光机的吞吐量都会突然下降。经过长时间排查，英特尔终于找到凶手，就是可爱的邻居-几百头乳牛。附近农场的乳牛每天大量放屁，产生的甲烷因凌晨1-2点的风向改变，通过空气净化器进入无尘室，影响曝光机的效率，英特尔因而谨记教训，不要将晶圆厂盖在牛屁多的地方。

　　柯恩强调，除了牛放屁之外，曝光机故障很少见，但EUV是每个晶圆厂的瓶颈，如果整个工厂发生故障，都会有备份，这就是 ASML 在世界各地全天候雇用员工的原因。

　　ASML生产的EUV曝光机